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半導(dǎo)體超純水系統(tǒng)工藝介紹
半導(dǎo)體超純水系統(tǒng)工藝介紹
超純水要求盡可能去除水中的離子DO(溶解氧)TOC(總有機(jī)碳)等雜質(zhì)，使其成分無(wú)限趨近于100%的水分子，25℃時(shí)理論電阻率可達(dá)18.3Mcm]以應(yīng)用于對(duì)水質(zhì)純度要求極高的場(chǎng)合。在半導(dǎo)體產(chǎn)品生產(chǎn)過(guò)程中，超純水主要用于清洗各種產(chǎn)品，其水質(zhì)對(duì)產(chǎn)品質(zhì)量、性能會(huì)產(chǎn)生重大影響，穩(wěn)定的超純水系統(tǒng)成為半導(dǎo)體產(chǎn)線不可或缺的配套系統(tǒng)之一。
目前，在半導(dǎo)體行業(yè)得到廣泛應(yīng)用的超純水制備技術(shù)主要有離子交換法和電去離子法(EDI)其中離子交換法主要通過(guò)離子交換樹脂吸附水中的陰、陽(yáng)離子，提高電阻率，同時(shí)配置去除DO、降解 TOC的裝置，該工藝具有制備水量大、出水水質(zhì)穩(wěn)定、工藝成熟、運(yùn)行穩(wěn)定、操作難度低、運(yùn)行成本低等優(yōu)點(diǎn)。
離子交換法是超純水系統(tǒng)常用的2種成熟工藝路線之一，已在電子、醫(yī)藥、化工等行業(yè)超純水制備系統(tǒng)中得到廣泛應(yīng)用，也是最適合本項(xiàng)目需求的工藝路線。上海創(chuàng)洋將從設(shè)計(jì)和設(shè)備配置，各系統(tǒng)設(shè)備造價(jià)組成、主要設(shè)備造價(jià)組成3個(gè)方面分析了項(xiàng)目造價(jià)情況:設(shè)備是影響材料部分造價(jià)的主要因素，占比接近50%;半導(dǎo)體超純水制備系統(tǒng)核心材料仍以進(jìn)口為主拋光系統(tǒng)和MAKEUP系統(tǒng)設(shè)備是設(shè)備總造價(jià)的絕對(duì)主體，占比接近70%;TOC-UV、樹脂、脫氣膜價(jià)格昂貴，合計(jì)占設(shè)備總造價(jià)比例接近60%。本項(xiàng)目工藝設(shè)計(jì)、造價(jià)信息可供類似項(xiàng)目參考。
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