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電子行業(yè)用5T/H超純水設(shè)備的產(chǎn)水指標(biāo)及工藝說(shuō)明
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原標(biāo)題：電子行業(yè)用5T/H超純水設(shè)備的產(chǎn)水指標(biāo)及工藝說(shuō)明
超純水設(shè)備是采用預(yù)處理、反滲透技術(shù)、超純化處理以及后級(jí)處理等方法，將水中的導(dǎo)電介質(zhì)幾乎完全去除，又將水中不離解的膠體物質(zhì)、氣體及有機(jī)物均去除至很低程度的水處理設(shè)備。
一、5T/H超純水設(shè)備產(chǎn)水指標(biāo)
電阻率@25℃：大于等于10MΩ·cm
PH值：6.6-7.4
細(xì)菌總數(shù)：<9個(gè)/ml
微粒(>0.22μm )：≤500個(gè)/L
總有機(jī)碳：≤100ppb
二、5T/H超純水設(shè)備工藝
原水箱→增壓泵→石英砂過(guò)濾器→活性炭過(guò)濾器→軟水器→一級(jí)RO主機(jī)→一級(jí)純水箱→二級(jí)RO主機(jī)→二級(jí)純水箱→增壓泵→紫外線殺菌器→膜濾器→EDI系統(tǒng)→TOC脫除器+脫氣膜+拋光混床→終端膜濾器 三、5T/H超純水設(shè)備組成
1、原水箱
原水箱主要起到緩沖和調(diào)節(jié)進(jìn)水量的作用，防止進(jìn)水水量和水壓不穩(wěn)定對(duì)設(shè)備造成的損壞和影響。
2、原水泵
原水泵從原水箱取水，對(duì)水箱內(nèi)的水增壓，達(dá)到后續(xù)設(shè)備的運(yùn)行的壓力和水量的要求。
3、石英砂過(guò)濾器
石英砂過(guò)濾器中通過(guò)裝填不同粒徑的高純度的石英砂對(duì)原水中懸浮物、顆粒物及膠體等物質(zhì)進(jìn)行過(guò)濾，同時(shí)對(duì)原水中的濁度起到降低作用。
4、活性炭過(guò)濾器
活性炭過(guò)濾器系統(tǒng)是利用活性炭吸附機(jī)理，引起吸附的主要原因在于溶質(zhì)對(duì)水的疏水特性和溶質(zhì)對(duì)固體顆粒的高度親和力。活性炭過(guò)濾器能夠吸附水中的有機(jī)物，膠體和余氯等。去除各種溶解性的有機(jī)物。還能去除水中的臭味、色度、以及殘留的濁度。
5、保安過(guò)濾器
在RO裝置之前設(shè)置保安過(guò)濾器，目的是防止水中的大顆粒物進(jìn)入反滲透膜，損壞反滲透膜，確保RO的正常運(yùn)行。
6、立式高壓泵
反滲透的使用過(guò)程中，水的流向和運(yùn)動(dòng)是逆自然滲透的，要改變這種逆自然的滲透，必須給液體一個(gè)動(dòng)力，使它改變自然滲透過(guò)程中，淡水向濃水方向運(yùn)動(dòng)，鹽份向淡水方向滲透的規(guī)律，而提高這個(gè)動(dòng)力有效的措施是增加外界壓力，高壓泵為反滲透膜組提供足夠的進(jìn)水壓力，維持反滲透膜的正常運(yùn)行。
7、反滲透系統(tǒng)
反滲透(RO)系統(tǒng)利用反向滲透原理，主要去除水中溶解鹽類，同時(shí)去除一些大分子和預(yù)處理未去除的小顆粒等。其功能是對(duì)經(jīng)過(guò)預(yù)處理的產(chǎn)水進(jìn)行脫鹽。
8、RO產(chǎn)水箱
RO產(chǎn)水箱主要起到緩沖和調(diào)節(jié)水量的作用。
9、紫外線殺菌器
紫外線殺菌器，其優(yōu)點(diǎn)為輻照強(qiáng)度穩(wěn)定性高，殺菌壽命長(zhǎng)達(dá)9000小時(shí)，高透過(guò)率石英玻璃管，透光率≥87%，單價(jià)也比同類產(chǎn)品適中，殺菌壽命達(dá)8000小時(shí)后，其輻照強(qiáng)度在253.7um保持穩(wěn)定不變，比國(guó)內(nèi)同類產(chǎn)品輻照強(qiáng)度穩(wěn)定不變。與國(guó)外同類產(chǎn)品相比殺菌強(qiáng)度提高了18%-27%，殺菌率能夠達(dá)到99.99%。
10.EDI系統(tǒng)
一般自然水源中存在鈉、鈣、鎂、氯化物、硝酸鹽、碳酸氫鹽等溶解物，這些化合物由帶負(fù)電荷的陰離子和帶正電荷的陽(yáng)離子組成。通過(guò)反滲透(RO)的處理，95%～99%以上的離子可以被去除，RO純水(EDI給水)電阻率的一般范圍是0.05～1.0MΩ.cm，即電導(dǎo)率的范圍為20～1μS/cm。根據(jù)應(yīng)用的情況，去離子水電阻率的范圍一般為5～18MΩ.cm。另外，原水中也可能包括其它微量元素、溶解的氣體(例如CO2)和一些弱電解質(zhì)(例如硼、二氧化硅)，這些雜質(zhì)在工業(yè)除鹽水中必須被除掉，但是反滲透過(guò)程對(duì)于這些雜質(zhì)的清除效果較差。因此，EDI的作用就是通過(guò)除去電解質(zhì)(包括弱電解質(zhì))的過(guò)程，將水的電阻率從0.05～1.0MΩ.cm提高到5～16MΩ.cm。
EDI優(yōu)點(diǎn)：
(1)連續(xù)運(yùn)行、產(chǎn)品水水質(zhì)穩(wěn)定。
(2)不會(huì)因再生而停機(jī)。無(wú)再生污水，不須污水處理設(shè)施。
(3)減小車(chē)間建筑面積。
(4)減低運(yùn)行及維修成本。
(5)以高產(chǎn)率產(chǎn)生超純水(產(chǎn)率可以高達(dá)95%)。
(6)無(wú)須用酸堿再生。
(7)節(jié)省了反沖和清洗用水。
(8)無(wú)須酸堿儲(chǔ)備酸堿稀釋運(yùn)送設(shè)施。
(9)使用安全可靠、避免工人接觸酸堿。安裝簡(jiǎn)便、安裝費(fèi)用低廉。
11、TOC脫除器
其殺菌原理與紫外線殺菌器相同，但是TOC脫除器使用的是185nm的紫外線，相比于253.7nm的紫外線具有更高的能量，可以深度降解水源中的TOC，最小可控制產(chǎn)水TOC在5PPb以內(nèi)。
四、5T/H超純水設(shè)備優(yōu)勢(shì)
設(shè)備主要采用EDI和反滲透技術(shù)，產(chǎn)水可以達(dá)到15兆歐以上，出水水質(zhì)完全符合半電子廠的用水標(biāo)準(zhǔn)。設(shè)備具有結(jié)構(gòu)合理簡(jiǎn)單、連續(xù)運(yùn)行、操作方便、、自動(dòng)化程度高、使用壽命長(zhǎng)、自動(dòng)化運(yùn)行、占地面積小、出水水質(zhì)高等優(yōu)勢(shì)。
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