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供應(yīng)超純水-從天然水到超純水的過程
水中所含不純物極少的水，稱為純水。將此純水更進(jìn)一步純化后的水，稱為“超純水”，取“UltraPure Water”的開頭字母縮寫為UPW。
根據(jù)工廠的地理條件等不同，使用的天然水有工業(yè)用水、河流、地下水等。
超純水的工藝必須根據(jù)天然水的水質(zhì)進(jìn)行優(yōu)化。此外，根據(jù)生產(chǎn)線生產(chǎn)的產(chǎn)品(半導(dǎo)體類型)的不同，對超純水的規(guī)格有不同的要求。
在將天然水轉(zhuǎn)化為超純水的過程中，必須首先通過冷凝浮上設(shè)備和過濾器去除天然水中不溶于水的浮游物質(zhì)(也稱SS):SuspendedSolids）。然后通過去碳塔，去除水中的碳粒。
下一步，利用反滲透RO設(shè)備（RO: Reverse Osmosis反滲透膜)去除水中的不純物體，通過離子交換樹脂去除金屬離子，通過U>(紫外線)分解去除有機(jī)物體，通過真空脫氣去除氧氣等氣體。重復(fù)這個過程，最后通過超細(xì)濾網(wǎng)（UF: Ultra Filter），提供給每個供水點。
超純水的供應(yīng)速度為每秒1.5m
由于轉(zhuǎn)換超純水必須避免接觸空氣，或者在輸送到各個供水點之前被配送管道或儲水槽污染，因此配送管道必須在固定時間或根據(jù)需要進(jìn)行過氧化氫(H202)清洗，然后用UPW更換。
此外，在超純水的運輸過程中，一旦流速減慢，就容易產(chǎn)生污染，因此必須每秒保持1.5m的恒定流速。
以上是純凈水供應(yīng)系統(tǒng)的主要流程，通常將新送入的天然水轉(zhuǎn)化為超純水。使用后的回收水也可以通過同樣的流程重復(fù)使用。換句話說，從供水點回收的水經(jīng)過活性碳塔、離子交換塔、RO設(shè)備、UV氧化槽、過氧化氫(H202)去塔處理后，可以引導(dǎo)回到主流程進(jìn)行再利用。
超純水的輸送量根據(jù)工廠的規(guī)模而有所不同，但可以略微估計為每天數(shù)千噸的數(shù)量級。
上一個: 純水水處理工藝流程圖集
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